荷兰马上宣布!禁售DUV光刻机,中方回应:别无选择,将自主制造

这事儿说起真让人烦心,荷兰那边在2023年3月8日就正式宣布,要对DUV光刻机的出口到中国加强限制。DUV,大家都知道,是深紫外光刻机的简称,主要是用来制造25纳米以上的芯片工艺,本来中国的厂子靠这个还撑起了不少生产线。

荷兰政府的外贸大臣施赖纳马赫尔给议会写了一封信,说这些新规会在夏天开始实施,主要针对那些最先进的DUV设备,出口到中国之前得先拿许可证才行。

荷兰芯片设备巨头ASML当天回应,表示部分DUV系统的出口可能会受到影响,特别是会对一些中国客户的发货产生影响。

这事可不是突然冒出来的,早在2019年,美国就开始推EUV光刻机的禁售,那玩意儿更先进,能做10纳米以下的芯片,当时荷兰就顶不住压力,答应不把它卖给中国。

到了2022年10月,美国那边又升级了一把,把DUV光刻机也列入出口限制名单。荷兰方面起初还挺倔的,11月时外贸大臣接受媒体采访说,不会全盘照搬美国的招数,ASML公司照样继续向中国出售DUV,销量还比以前更上一层。

到了一月,ASML的老板富凯直言不讳地批评美国的做法,拜登赶忙在白宫见荷兰首相吕特,劝他别太硬撑。吕特还没马上表示同意,但美国这边没打算放手,到了1月27日,美日荷三国就达成一致,关于先进DUV的出口都得经过许可。

荷兰折腾了几个月,一边惦记着和美国的盟友关系,一边担心ASML会失去市场份额,毕竟中国是他们的大客户,2022年对华收入占了不少。到最后,荷兰还是让步了,3月8日的声明就是个开始。

到了6月30日,荷兰公布了细节规定,从9月1日开始,ASML的TWINSCAN NXT2000i之类的浸没式DUV光刻机要出口到中国,得先经过政府审批。到2024年1月,荷兰又直接收回了部分已经批准的出口许可证,导致ASML无法把NXT2050i和NXT2100i这些型号发给中国。

9月6日,荷兰又宣布扩大出口管控,从第二天起,所有浸没式DUV光刻机出口到欧盟以外的地区都要经过特别审批,包括1970i和1980i这些型号。这样一来,ASML的日子变难熬了,2024年对中国市场的销售一度大幅增加,因为中国企业趁禁令实施前囤了不少货,可一旦先进型号受限,影响立马显现。公司表示,对华业务下滑了10%到15%。

从2023年9月开始,荷兰就不再公布ASML对华销售的具体数据了,估摸着是怕惹出点事儿。到了2024年底,ASML在12月2日透露,新一轮管制的影响还会延续到2025年的展望里,整体销量还是会保持增长,可中国那块儿的订单可能会减一些。之后,2025年1月15日,荷兰又调整了出口措施,从4月1日起,相关限制变得更严了,对先进半导体设备的出口管控得死死的。

1月17日,荷兰把大部分ASML对华销售列入敏感货物披露范围,数据变得更难看清了。ASML在2024年12月就提过,2025年中国市场大概占20%左右,但到了10月16日,ASML的前景显示,美国的芯片出口管制让中国的销量受打击。2025年的总净销量预计会涨15%,毛利率在52%,不过,来自中国的营收会从2024年的高点逐渐回落。

管理层提到,到了2026年,中国的收入会缩水不少,比2024和2025年都要低一些,短期来看,ASML的盈利表现还不错,但长远来看,AI在中国的发展放缓可能会拖累他们的表现。2024年第二季度,ASML的净销售额达到了62亿欧元,其中中国占了49%,也就是23.3亿欧元。虽然荷兰限制了EUV的出口,但他们的DUV设备还是卖出了不少。

中国市场在2024年大约卖了116亿欧元,占总销售的41%,不过到2025年,这个比例可能会降到25%以上。ASML表示,2024年中国的DUV热潮已经告一段落,市场回归了正常水平。

中国方面当然对荷兰的决定不太开心。商务部直言,他们对荷兰加大ASML设备出口限制感到不满,觉得这搞砸了正常的贸易秩序。到2024年9月8日,商务部也发表声明,觉得荷兰这么做只会让供应链出现更多麻烦。中国半导体行业协会也跟着表达了不满,认为这会影响到全球的合作局面。

驻荷兰大使馆直接 Point 出来,觉得荷兰这么搞,等于破坏了国际贸易的规矩,还会影响到ASML的研发力量。表面上客客气气,但其实中国早就开始动作了。2023年一发布禁令,他们就开始加快自主研发脚步。上海微电子设备公司,早在2023年前就已经推出了90纳米的光刻机,用多重曝光技术还能达到22纳米的水平。

到2023年12月,有些消息传出来,说他们已经弄出了28纳米的DUV,不过很快就把相关信息删掉了。到了2024年,上海微电子宣布年底能交出第一台28纳米的光刻机,型号叫SSA800-10W。

到2025年5月,数据显示他们开始交付28纳米浸没式DUV设备,这帮中国减少了对进口的依赖,每年新建超过100条芯片生产线,芯片进口额也从接近石油的水平下降了不少。中国科学院在2025年报告了EUV测试的最新进展,意味着在高端芯片制造方面取得了突破。

2月中国投入370亿欧元打造本土EUV系统,直逼ASML的地位。上海微电子的衍生公司AMIES也在2月成立,专注于光刻设备,目标是实现65纳米和28纳米的生产能力。到2026年,中国芯片厂产量预计会翻三番,主要依靠之前购入的ASML设备,不过国产工具的开发也会慢慢跟上。

9月,中国第一台商用电子束光刻机正式亮相,宣称实现了突破,但专家提醒还得看实际效果。9月18日,中国自行研发的深紫外(DUV)设备进行了测试,华虹晶圆制造(SMIC)等企业用DUV技术将设备推到了极限,因为极紫外(EUV)技术目前仍受到限制。

10月1日,有视频称中国自主研发的EUV设备已经问世,直接关闭了荷兰ASML的市场通道,不过这个消息还得等官方确认才算数。到了10月3日,有传闻说中国的EUV机引发了股市的热烈反应,不过很可能只是市场上的炒作行为罢了。

整体来看,目前中国主要还是用DUV设备,毕竟EUV技术被限制了,迫使本土扫描仪行业不得不加快发展。根据CSET的报告预计,到2025年7月,上海微电子的设备还主要停留在DUV阶段,EUV技术还比较遥远。再帮你补充一下,3月份的Semicon China会议上透露,2024年4月中国的第一台EUV经过优化升级还在研发中,离量产还不算近。

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